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LAMOTION RU 系列增量式光栅尺 详细介绍

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RU 系列增量式光栅尺


             RU 系列增量式光栅尺由RU2系列读数头和尺身组成。RU2读数头采用大面积单场扫描技术，保证了其出色的抗污染能力，2mm的大安装间距保证了快速安装同时又实现了更大的容差。实时自动增益控制保证了在各种环境下工作的稳定性。高达1000倍的内部细分可满足各种控制器的需求。相位光栅和单场扫描在保证抗污染的同时更保证了优秀的李沙育圆度，降低了细分的误差。


    LAMOTION读数头

    最高分辨率20nm
    高带宽、低细分误差
    自动增益控制，提供更稳定的信号输出
    多色指示灯提示信号强度，安装方便
    内置原点和限位
    SinCos 1Vpp或差分TTL多种接口可选



    		Lissajous-Figur

            与RU2读数头配合使用的RUS钢带栅尺采用了超硬高弹且抗腐蚀的特种基材，优秀的机械和化学特性保证了其长期使用的稳定可靠，利用先进的激光干涉刻线工艺，可实现20微米栅距的精细刻划，并保证小于40纳米的刻线误差。这是确保RUS栅尺异常强大的精度基础。尺身自带背胶，利用贴尺工具可以实现快速安装。


    		高精度±5um/m
    小尺寸 0.2 mm 厚度 × 8 mm 宽度
    低膨胀系数 10.5um/m/℃
    背胶安装 快速粘贴
    耐化学腐蚀
    50m超长供货长度





            除RUS栅尺之外榕树光学还为更高精度应用场合提供RUE超高精度低膨胀率的硬栅尺，相比RUS钢带尺，刻线容差缩减到30纳米以内，同种每米线性误差不超过2微米。低至1.2微米/米/度的膨胀系数可以在不同温度下有更好的精度。


    RU系列光栅尺应用


    半导体工业测量生产设备
    PCB生产加工设备
    全闭环机床
    坐标测量机和影像对比仪
    直线运动平台，测量显微
    镜及其他精密设备




    		直线电机运动平台
    		坐标测量机


    RU增量型光栅尺参数表
    栅距
    		20um
    		分辨率
    		5um/1um/0.5um/0.1um/50nm/20nm
    精度
    		±5um/m
    		测量速度
    		小于12m/s
    尺寸
    		0.2mm厚×8mm宽
    		测量加速度
    		35g
    背胶尺寸
    		0.2mm厚×6mm宽
    		栅距误差
    		＜30nm
    光栅长度
    		＜50m



    RU系列光栅尺演示视频

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