激光干涉测长法是已知的最高精度长度测量方法,激光干涉仪是用来对机床、测量机等进行检测标定;LAMOTION 的 FLE 光纤激光尺采用与激光干涉仪相同的原理,同时利用 LAMOTION 的实时快速补偿算法将激光干涉仪的位置实时输出,实现了光栅尺的功能,并且精度与激光干涉仪相当。
激光干涉测量的基本原理是利用激光的干涉,在被测物(角锥反射镜)前后移动的过程中,被测光与参考光发生干涉,将产生一个光束增强周期,一个减弱周期的复合光束,强度从亮到暗的周期为半个激光波长即 316纳米,通过光强的强度变化就可以检测到反射镜的移动距离。FL-10光栅激光尺系统 FL-10激光尺探头
光纤激光尺组件
激光探头与角锥反射镜 环境温度传感器(选配)激光尺主机 环境补偿基站(选配) 环境压力湿度传感器(选配) 材料温度传感器(选配)
基本参数