FL 系列光纤激光尺
FL-10光纤激光干涉尺是一种超高精度位置闭环反馈系统。利用与激光干涉仪相同的测量原理加上特有的实时环境补偿技术，使整个系统达到与激光干涉仪相同的位置反馈精度。
测量探头采用光纤传导方式与主机相连使得探头体积小巧，安装灵活，同时断绝了热辐射对测量精度的影响。经过补偿后的位置数据通过标准的TTL和SinCos信号输出，几乎可以与任何控制器连接。
低于300ns的时间延迟保证了超高的带宽，满足超高精度，同时也得到了比传统光栅尺更大动态范围。FL-10光栅激光尺系统 分 辨 率：50pm -1um
精 度：0.8ppm
测量范围：0-4m（更长范围可定制）
测量速度：大于1m/s（更快速度可定制）
补偿功能：环境温度、压力、湿度、材料温度
FL-10激光尺探头 光导纤维
光纤激光尺组件：
激光尺主机 激光探头与角锥反射镜 
环境补偿基站（选配） 环境温度传感器（选配） 
环境压力湿度传感器（选配） 材料温度传感器（选配）
光纤激光尺应用
半导体 生物工程应用 光刻机、基因测序设备等。
高精度运动平台应用
可直接作为超高精度直线电机、气浮电机等运动平台的反馈设备，提高运动平台的控制精度。其他测量设备使用
光纤激光干涉尺还可以用在丝杠导程误差动态测量设备、测长仪等设备中。
光纤激光尺参数
光纤激光干涉尺参数表 测量精度 0.8ppm(0.8um/m) 电源 DC 24V±2V，3A(MAX) 分辨率 0pm-1um(TTL)
20-1um(SinCos 1Vpp)数字接口 差分TTL 2.5M 测量行程 0～4m(更长可定制) 模拟接口 SinCos 1Vpp 600K 测量速度 ≥1m/s(更快可定制) 串行协议 BiSS 8M 响应时间 ＜300ns 计算机接口 USB 2.0 真空波长精度 0.05ppm(24小时)
0.1ppm(3年)原点锁存接口 光耦输入 激光探头尺寸 35×51×83mm 工作温度 5℃～40℃ 反射镜类型 平面、角锥、差分型 工作压力 70KPa～115KPa 激光对准调整范围 ±2° 工作湿度 0～95% RH(非凝露)
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